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AMC微汙染防治監測系統

半導體先進製程對於微汙染的防日趨重視，PICARRO分析儀器針對NH3、HF、HCL和VOC等多樣不純物
提供全時監測系統，為客戶的製程良率做把關。

SI9110 VOC

SI9110 VOC詳細資訊

SI5450 SO2

SI5450 SO2詳細資訊

SI3401 HF NH3 HCl

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SI2306 HF NH3

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SI2205 HF

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SI2108 HCl

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SI2104 H2S

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SI2103 NH3

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